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产品分类NEW Cosmos新宇宙气体探测器PS-7 ,目标气体半导体材料:气体、氢气、氧气
NEW Cosmos新宇宙气体探测器PS-7 ,目标气体半导体材料:气体、氢气、氧气
特点:
带传感器单元更换型的固定式半导体材料气体检测仪
交付校准后的传感器单元,可随时更换,无需现场气体校准
支持 NF3 检测
兼容 Modbus (RS-485/Ethernet) (PS-7-M) * 以太网通信支持 PoE
符合 CE 和 SEMI 标准
用途:
检测半导体工厂中的半导体材料气体泄漏
外部输出
・气体浓度模拟输出 DC4-20mA(负电源通用)
・气体报警触点(1 级和 2 级) 1A 无电压触点/自动恢复
・故障警报触点(集电极开路/自动恢复)